Sensor tekanan adalah salah satu sensor yang lebih umum. Sensor tekanan tradisional pada dasarnya adalah perangkat struktur mekanis, dan deformasi bagian elastis menunjukkan tekanan. Namun karena ukuran dan beratnya, mereka tidak dapat menghasilkan listrik.

Perkembangan teknologi semikonduktor juga menyebabkan munculnya sensor tekanan semikonduktor. Hal ini ditandai dengan ukuran kecil, ringan, presisi tinggi dan kinerja suhu yang baik. Apalagi dengan berkembangnya teknologi MEMS, sensor semikonduktor berkembang ke arah miniaturisasi, konsumsi daya yang rendah, dan keandalan yang tinggi.

Peran sensor tekanan

1. Langsung digunakan untuk mengukur tekanan yang berbeda: tekanan udara, tekanan hidrolik, tekanan hidrolik (termasuk tekanan hidrolik), tekanan darah yang berbeda dalam kehidupan sehari-hari, dll.;

2. Sensor tekanan digunakan pada mobil, beberapa sepeda motor elit dan hampir semua mesin pembakaran internal;

3. Ketinggian cairan: Peralatan lapangan yang digunakan untuk berbagai pengukuran ketinggian cairan terutama adalah sensor tekanan;

4. Sebagian besar sinyal penimbangan elektronik dan sinyal penimbangan kendaraan berasal dari sensor tekanan.

Sensor tekanan terutama digunakan untuk mengontrol dan memantau aplikasi tertentu. Dalam industri otomotif, sensor tekanan MEMS terutama digunakan untuk mengukur tekanan bahan bakar, tekanan ban, tekanan kantung udara, dan tekanan pipa. Di bidang biomedis, sensor tekanan MEMS terutama digunakan dalam sistem diagnostik dan deteksi; Dalam industri dirgantara, sensor tekanan MEMS terutama digunakan untuk mengontrol posisi pesawat ruang angkasa dan pesawat ruang angkasa;