Sensor tekanan adalah salah satu sensor yang lebih umum. Sensor tekanan tradisional terutama merupakan perangkat struktur mekanis, dan deformasi bagian elastis menunjukkan tekanan. Namun, karena ukuran dan beratnya, mereka tidak dapat menghasilkan listrik.

Pengembangan teknologi semikonduktor juga telah menyebabkan munculnya sensor tekanan semikonduktor. Ini ditandai dengan ukuran kecil, berat ringan, presisi tinggi dan kinerja suhu yang baik. Terutama dengan pengembangan teknologi MEMS, sensor semikonduktor berkembang ke arah miniaturisasi, konsumsi daya rendah dan keandalan yang tinggi.

Peran sensor tekanan

1. Digunakan secara langsung untuk mengukur tekanan yang berbeda: tekanan udara, tekanan hidrolik, tekanan hidrolik (termasuk tekanan hidrolik), tekanan darah yang berbeda dalam kehidupan sehari -hari, dll.;

2. Sensor tekanan digunakan dalam mobil, beberapa sepeda motor elit dan hampir semua mesin pembakaran internal;

3. Level Cairan: Peralatan lapangan yang digunakan untuk berbagai pengukuran tingkat cairan terutama adalah sensor tekanan;

4. Sebagian besar sinyal penimbangan elektronik dan sinyal penimbangan kendaraan berasal dari sensor tekanan.

Sensor tekanan terutama digunakan untuk mengontrol dan memantau aplikasi tertentu. Dalam industri otomotif, sensor tekanan MEMS terutama digunakan untuk mengukur tekanan bahan bakar, tekanan ban, tekanan airbag, dan tekanan pipa. Di bidang biomedis, sensor tekanan MEMS terutama digunakan dalam sistem diagnostik dan deteksi; Dalam industri kedirgantaraan, sensor tekanan MEMS terutama digunakan untuk mengontrol posisi pesawat ruang angkasa dan pesawat ruang angkasa;