Sensor tekanan excavator adalah sensor yang paling banyak digunakan, itu adalah istilah umum untuk mendeteksi gas, cair, zat padat dan lainnya antara energi gaya induktif, juga termasuk
Manometer yang mengukur tekanan udara di atas dan pengukur vakum yang mengukur tekanan udara di bawah. Ada banyak jenis sensor gaya, metode pengukuran tradisional adalah menerapkan deformasi dan perpindahan elemen elastis untuk mengekspresikan pemeliharaan mesin injeksi listrik, tetapi volumenya besar, canggung, dan outputnya non-linear. Dengan pertumbuhan keterampilan mikroelektronika, penerapan efek piezoresisitas bahan semikonduktor dan elastisitas superior, pengembangan sensor gaya semikonduktor, piezoresisitas silikon penting dan dua kapasitif, mereka memiliki ukuran kecil, berat ringan, keuntungan sensitivitas tinggi, secara luas digunakan dalam sensor semikonduktor. Ketika semikonduktor ditekankan ke atas pada kristal, resistivitasnya akan berubah. Hubungan antara perubahan resistor konduktor dan stres disebut efek piezoresistif semikonduktor, dan sensor kuantitas mekanis yang terbuat dari efek ini disebut sensor gaya piezoresistif, yang memiliki dua jenis, satu adalah sensor yang terbuat dari pengukur regangan semikonduktor yang ditempelkan pada elemen elastis, yang disebut piezoris yang dipaste. Yang lainnya adalah resistansi difusi yang terbuat dari teknologi sirkuit terintegrasi pada substrat bahan semikonduktor, sehingga pengukur regangan dan substrat silikon membentuk seluruh sensor yang sama, yang disebut sensor difusi piezoresistif. Ini memiliki karakteristik sensitivitas tinggi, presisi tinggi, ukuran kecil, bobot ringan, frekuensi kerja tinggi, struktur sederhana, pekerjaan yang andal dan umur panjang.