Berlaku untuk Passat Fuel Common Rail Pressure Sensor 06E906051K

1. Metode untuk membentuk sensor tekanan, terdiri dari:

Menyediakan substrat semikonduktor, di mana lapisan dielektrik interlayer pertama, lapisan dielektrik interlayer pertama dan lapisan dielektrik interlayer kedua dibentuk pada substrat semikonduktor.

Pelat elektroda yang lebih rendah di lapisan dielektrik interlayer pertama, elektroda timbal balik pertama yang terletak di lapisan yang sama dengan pelat elektroda bawah dan terpisah.

Menghubungkan lapisan;

Membentuk lapisan pengorbanan di atas pelat kutub bawah;

Membentuk pelat elektroda atas pada lapisan dielektrik interlayer pertama, lapisan interkoneksi pertama dan lapisan pengorbanan;

Setelah membentuk lapisan pengorbanan dan sebelum membentuk pelat atas, di lapisan interkoneksi pertama

Membentuk alur koneksi, dan mengisi alur koneksi dengan pelat atas untuk terhubung secara elektrik dengan lapisan interkoneksi pertama; Atau,

Setelah membentuk pelat elektroda atas, lekukan penghubung terbentuk di pelat elektroda atas dan lapisan interkoneksi pertama, yang mana

Membentuk lapisan konduktif yang menghubungkan pelat elektroda atas dan lapisan interkoneksi pertama dalam alur koneksi;

Setelah menghubungkan secara elektrik pelat atas dan lapisan interkoneksi pertama, melepas lapisan pengorbanan untuk membentuk rongga.

2. Metode untuk membentuk sensor tekanan sesuai dengan klaim 1, di mana di lapisan pertama

Metode untuk membentuk lapisan pengorbanan pada lapisan dielektrik interlayer terdiri dari langkah -langkah berikut:

Menyetor lapisan material pengorbanan pada lapisan dielektrik interlayer pertama;

Pola lapisan material pengorbanan untuk membentuk lapisan pengorbanan.

3. Metode untuk membentuk sensor tekanan sesuai dengan klaim 2, di mana fotolitografi dan ukiran digunakan.

Lapisan material pengorbanan dipola oleh proses etsa.

4. Metode untuk membentuk sensor tekanan sesuai dengan klaim 3, di mana lapisan pengorbanan

Bahannya adalah karbon amorf atau germanium.

5. Metode untuk membentuk sensor tekanan sesuai dengan klaim 4, di mana lapisan pengorbanan

Bahannya adalah karbon amorf;

Gas etsa yang digunakan dalam proses etsa lapisan material pengorbanan termasuk O2, CO, N2 dan AR;

Parameter dalam proses etsa lapisan material pengorbanan adalah: kisaran aliran O2 adalah 18 SCCM ~ 22 SCCM, dan laju aliran CO adalah 10%.

Laju aliran berkisar dari 90 SCCM hingga 110 SCCM, laju aliran N2 berkisar dari 90 SCCM hingga 110 SCCM, dan laju aliran AR.

Kisarannya adalah 90 sccm ~ 110 sccm, rentang tekanannya adalah 90 mTOR ~ 110 mTOR, dan daya bias adalah

540W ～ 660W。