Berlaku untuk sensor tekanan rel umum bahan bakar Passat 06E906051K

1. Metode pembentukan sensor tekanan, terdiri dari:

Menyediakan substrat semikonduktor, dimana lapisan dielektrik antarlapis pertama, lapisan dielektrik antarlapis pertama dan lapisan dielektrik antarlapis kedua terbentuk pada substrat semikonduktor.

Pelat elektroda bawah pada lapisan dielektrik antarlapis pertama, elektroda timbal balik pertama terletak pada lapisan yang sama dengan pelat elektroda bawah dan diberi jarak terpisah.

Menghubungkan lapisan;

Membentuk lapisan korban di atas lempeng kutub bawah;

Membentuk pelat elektroda atas pada lapisan dielektrik interlayer pertama, lapisan interkoneksi pertama dan lapisan korban;

Setelah terbentuk lapisan kurban dan sebelum terbentuknya pelat atas, pada lapisan interkoneksi pertama

Membentuk alur sambungan, dan mengisi alur sambungan dengan pelat atas untuk menyambung secara elektrik dengan lapisan interkoneksi pertama;Atau,

Setelah terbentuknya pelat elektroda atas, dibentuk alur penghubung pada pelat elektroda atas dan lapisan interkoneksi pertama, yaitu

Membentuk lapisan konduktif yang menghubungkan pelat elektroda atas dan lapisan interkoneksi pertama pada alur sambungan;

Setelah pelat atas dan lapisan interkoneksi pertama disambung secara elektrik, lapisan korban dihilangkan hingga membentuk rongga.

2. Cara pembentukan sensor tekanan sesuai klaim 1, dimana pada lapisan pertama

Metode pembentukan lapisan korban pada lapisan dielektrik antarlapis terdiri dari langkah-langkah berikut:

Menyetorkan lapisan material korban pada lapisan dielektrik interlayer pertama;

Membuat pola lapisan bahan kurban sehingga membentuk lapisan kurban.

3. Metode pembentukan sensor tekanan menurut klaim 2, yang menggunakan fotolitografi dan pengukiran.

Lapisan bahan kurban dipola dengan proses etsa.

4. Metode pembentukan sensor tekanan menurut klaim 3, dimana lapisan korban

Bahannya adalah karbon amorf atau germanium.

5. Metode pembentukan sensor tekanan menurut klaim 4, dimana lapisan korban

Bahannya adalah karbon amorf;

Gas etsa yang digunakan dalam proses etsa lapisan bahan kurban antara lain O2, CO, N2 dan Ar;

Parameter pada proses etsa lapisan bahan kurban adalah: rentang aliran O2 18 SCCM ~ 22 SCCM, dan laju aliran CO 10%.

Laju aliran berkisar antara 90 SCCM hingga 110 SCCM, laju aliran N2 berkisar antara 90 SCCM hingga 110 SCCM, dan laju aliran Ar.

Kisarannya adalah 90 SCCM ~ 110 SCCM, kisaran tekanannya adalah 90 mtor ~ 110 mtor, dan daya biasnya adalah

540w～660w。