Sensor tekanan semikonduktor yang umum digunakan menggunakan wafer silikon tipe-N sebagai substrat. Pertama, wafer silikon dibuat menjadi bagian yang menahan stres elastis dengan geometri tertentu. Pada bagian yang mengandung stres dari wafer silikon, empat resistor difusi tipe-P dibuat di sepanjang arah kristal yang berbeda, dan kemudian jembatan gandum empat lengan dibentuk dengan empat resistor ini. Di bawah aksi gaya eksternal, perubahan nilai resistansi menjadi sinyal listrik. Jembatan wheatstone dengan efek tekanan ini adalah jantung dari sensor tekanan, yang biasanya disebut jembatan piezoresistif (seperti yang ditunjukkan pada Gambar 1). Karakteristik jembatan piezoresistif adalah sebagai berikut: ① Nilai resistensi dari empat lengan jembatan sama (semua R0); ② Efek piezoresistif dari lengan yang berdekatan dari jembatan adalah nilai yang sama dan berlawanan dalam tanda; ③ Koefisien suhu resistansi dari keempat lengan jembatan adalah sama, dan mereka selalu pada suhu yang sama. Dalam gbr. 1, R0 adalah nilai resistansi tanpa stres pada suhu kamar; RT adalah perubahan yang disebabkan oleh koefisien suhu resistensi (α) ketika suhu berubah; Υ rΔ adalah perubahan resistensi yang disebabkan oleh strain (ε); Tegangan output jembatan adalah u = i0 Δ rΔ = i0rgΔ (jembatan sumber arus konstan).

Di mana I0 adalah arus arus konstan arus dan E adalah tegangan tegangan konstan. Tegangan output dari jembatan piezoresistif berbanding lurus dengan strain (ε) dan tidak ada hubungannya dengan RT yang disebabkan oleh koefisien suhu resistensi, yang sangat mengurangi penyimpangan suhu sensor. Sensor tekanan semikonduktor yang paling banyak digunakan adalah sensor untuk mendeteksi tekanan cairan. Struktur utamanya adalah kapsul yang terbuat dari silikon monokristalin (seperti yang ditunjukkan pada Gambar 2). Diafragma dibuat menjadi cangkir, dan bagian bawah cangkir adalah bagian yang menanggung gaya eksternal, dan jembatan tekanan dibuat di bagian bawah cangkir. Alas cincin terbuat dari bahan kristal tunggal silikon yang sama, dan kemudian diafragma terikat pada alas. Jenis sensor tekanan ini memiliki keunggulan sensitivitas tinggi, volume kecil dan soliditas, dan telah banyak digunakan dalam penerbangan, navigasi ruang, instrumen otomatisasi dan instrumen medis.