Sensor tekanan semikonduktor yang umum digunakan menggunakan wafer silikon tipe-N sebagai substratnya.Pertama, wafer silikon dibuat menjadi bagian penahan tegangan elastis dengan geometri tertentu.Pada bagian penahan tegangan wafer silikon, empat resistor difusi tipe P dibuat sepanjang arah kristal yang berbeda, dan kemudian jembatan Wheatstone empat lengan dibentuk dengan keempat resistor ini.Di bawah pengaruh gaya eksternal, perubahan nilai resistansi menjadi sinyal listrik.Jembatan batu gandum dengan efek tekanan ini merupakan jantung dari sensor tekanan, yang biasa disebut jembatan piezoresistif (seperti ditunjukkan pada Gambar 1).Ciri-ciri jembatan piezoresistif adalah sebagai berikut: ① nilai hambatan keempat lengan jembatan adalah sama (semua r0);② Efek piezoresistif dari lengan jembatan yang berdekatan sama besarnya dan berlawanan tanda;③ Koefisien suhu hambatan keempat lengan jembatan adalah sama, dan suhunya selalu sama.Pada gambar.1, R0 adalah nilai resistansi tanpa tegangan pada suhu kamar;RT adalah perubahan yang disebabkan oleh koefisien resistansi suhu (α) ketika suhu berubah;Υ Rδ adalah perubahan resistansi yang disebabkan oleh regangan (ε);Tegangan keluaran jembatan adalah u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (jembatan sumber arus konstan).

Dimana I0 adalah arus sumber arus konstan dan e adalah tegangan sumber tegangan konstan.Tegangan keluaran jembatan piezoresistif berbanding lurus dengan regangan (ε) dan tidak ada hubungannya dengan RT yang disebabkan oleh koefisien resistansi suhu, yang sangat mengurangi penyimpangan suhu sensor.Sensor tekanan semikonduktor yang paling banyak digunakan adalah sensor untuk mendeteksi tekanan fluida.Struktur utamanya adalah kapsul yang terbuat dari silikon monokristalin (seperti yang ditunjukkan pada Gambar 2).Diafragma dibuat menjadi sebuah cangkir, dan bagian bawah cangkir adalah bagian yang menahan gaya luar, dan jembatan tekanan dibuat di bagian bawah cangkir.Alas cincin terbuat dari bahan kristal tunggal silikon yang sama, kemudian diafragma diikatkan pada alasnya.Sensor tekanan jenis ini memiliki keunggulan sensitivitas tinggi, volume kecil dan soliditas, dan telah banyak digunakan dalam penerbangan, navigasi ruang angkasa, instrumen otomasi, dan instrumen medis.